KIST “테라헤르츠파 사용해 OLED 비파괴 검사기술 개발”

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KIST “테라헤르츠파 사용해 OLED 비파괴 검사기술 개발”

2022.05.11 07:00 연합뉴스

국내 연구진이 유기발광다이오드(OLED) 물질을 파괴하지 않고 검사할 수 있는 가능성을 제시했다.

이번 연구를 바탕으로 한 OLED 비파괴 검사 기술이 상용화된다면 OLED 디스플레이 제작 과정에서 결함을 확인하고 수율을 높이는 데 도움이 될 것으로 기대된다.

한국과학기술연구원(KIST)은 11일 센서시스템연구센터 전영민·서민아 박사 연구팀과 고려대 주병권 교수 연구팀이 공동으로 테라헤르츠파 분광기술을 이용해 OLED 물질을 파괴하지 않고 투과 특성을 분석하는 데 성공했다고 밝혔다.

OLED 업계에서는 제조 중간단계에서 결함을 찾아내 수리함으로써 수율을 높이고 가격 경쟁력을 높일 수 있는 검사기술의 필요성이 거론돼 왔다.

기존의 전통적인 전기검사법은 OLED 디스플레이에 전극을 붙여야 하는데, 이 과정에서 디스플레이가 파괴돼 재사용할 수가 없게 된다.

비접촉 방식으로 자외선을 조사해 OLED 물질에서 나오는 형광을 측정하는 ‘형광검사법’을 도입하기도 했지만, 자외선 조사과정에서 OLED 물질이 일부 파괴돼 특성이 변하는 문제가 있었다.

이에 따라 연구팀은 공정 중에 OLED 물질을 파괴하지 않으면서도 검사하는 방법으로 테라헤르츠파를 이용하는 방법을 고안했다.

이들은 테라헤르츠파의 투과율 변화를 통해 물질별 결함의 정도도 측정할 수 있음을 밝혀냈다.

연구팀은 “OLED 비파괴 검사의 가능성을 제시했다는 점에서 그 의미를 찾을 수 있다”며 “이 기술을 발전시키면 OLED 디스플레이 제작공정 중간단계에서 성능이 저하된 정도와 위치를 분석해 다음 단계로 넘어가기 전에 결함을 수리할 수 있다”고 밝혔다.

이 연구는 과학기술정보통신부의 지원으로 수행됐으며, 연구 결과는 재료과학분야 국제학술지 ‘Applied Surface Science’ 에 게재됐다.

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