메모리반도체용 하드마스크 소재 개발

메모리반도체용 하드마스크 소재 개발

국내 중소기업이 메모리반도체용 핵심소재를 개발해 수입 제품을 국산으로 대체할 수 있는 가능성을 열었다.

과학기술정보통신부는 국내 기업 DCT머티리얼이 ‘하드마스크’ 소재를 국산화했다고 12일 밝혔다. 하드마스크는 반도체에 미세회로를 새길 때 필요한 핵심 재료다. 이번에 개발한 소재는 기존 수입 제품보다 특성이 뛰어나고 가격이 저렴하다.

DCT머티리얼은 반도체 공공테스트베드인 나노종합기술원의 팹 시설을 활용해, 종합기술원 연구진과 공동으로 기술을 개발했다. 제작한 하드마스크 소재의 내열성과 평탄화율은 대기업 납품 시 필요한 기준에 적합했다.

과기정통부는 “DCT머티리얼이 개발한 소재는 기본 특성이 뛰어나고 가격경쟁력도 우수해, 수입에 의존했던 메모리반도체용 하드마스크 소재를 대체할 수 있을 전망”이라며 “앞으로 나노종합기술원에 12인치 반도체 테스트베드를 구축하면, 국내 반도체 소재·부품·장비 기업이 이용할 수 있어 산업경쟁력을 더 높일 수 있을 것”이라고 말했다.

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