“일본 수출규제 대응” 국산 불화수소 순도 분석 서비스 시작

표준연, 반도체용 고순도 불화수소 국산화 지원

한국표준과학연구원은 국내 기업을 대상으로 불화수소 순도 분석 서비스를 제공한다고 22일 밝혔다.

표준연은 반도체용 고순도 가스 소재에 대한 품질평가 설비를 구축하고, 약 20가지 서비스 중 가장 먼저 불화수소에 대한 품질 평가를 진행한다.

표준연은 일본의 반도체 소재 수출 규제에 대응해 지난해 8월부터 15억원을 들여 반도체용 고순도 가스의 신뢰성 검증 실험실을 완공했다.

불화수소는 반도체 웨이퍼의 세정과 식각공정에 사용된다.

반도체의 제조 수율을 높이기 위해서는 고순도 불화수소가 필요한데, 현재 쇼와덴코·모리타·스텔라 케미파 등 일본 업체가 세계시장을 독점하고 있다.

표준연은 실린더에 들어있는 액체 상태의 불화수소를 기체화해 기체상 불순물을 분석하고, 유도결합 플라스마 질량분석기로 금속 성분 불순물을 분석해 최종 순도를 결정한다.

그동안 국내에서 이뤄진 고순도 불화수소 순도 검증법은 업체별로 달라 표준화하기 어려웠다.

이번 서비스 시행으로 불화수소 개발 업체는 표준연 분석 결과를 바탕으로 자사 제품의 부족한 점을 개선할 수 있게 됐다.

표준연은 내년 상반기 표준 시험절차서 개발을 완료하고, 20여 가지 가스 소재에 대한 분석법을 연차적으로 개발할 계획이다.

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