실리콘 소재 자율주행차 장애물 감지 센서 개발

연세대·DGIST 연구팀 "값비싼 화합물 반도체 센서 대체"

한국연구재단은 연세대 안종현 교수와 대구경북과학기술원(DGIST) 이재동 교수 공동 연구팀이 자율주행 자동차용 ‘라이다'(Lidar) 센서를 저렴한 실리콘 소재로 제작하는 데 성공했다고 30일 밝혔다.

라이다는 레이저를 이용해 주변 장애물을 인지하고 측정하는 센서이다. 자율주행 자동차의 ‘눈’이라 불리는 핵심 기술이다.

단파 적외선을 감지할 수 있는 인듐갈륨비소(InGaAs) 화합물을 활용한 반도체가 라이다 센서 소재로 활발히 연구되고 있지만, 제작 비용이 높다는 한계가 있다.

연구팀은 두께 10㎚(나노미터·1㎚는 100만분의 1㎜) 이하의 초박막 실리콘을 만든 뒤 실리콘의 전자 구조를 변화시켜 단파 적외선을 감지할 수 있는 광센서를 개발했다.

연구팀은 딱딱해 깨지기 쉬운 실리콘 웨이퍼를 초박막 상태로 만들어 높은 압력에도 부서지지 않도록 해 전자 구조를 변형시키는 데 성공했다.

안종현 교수는 “세계 최초로 단파 적외선을 감지할 수 있는 실리콘 광센서를 개발했다”며 “자율주행 자동차 대중화에 기여할 것”이라고 말했다.

이번 연구 성과는 국제 학술지 ‘사이언스 어드밴시스'(Science Advances) 이날 자에 실렸다.

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