September 18,2019

불화수소 등 반도체 소재 품질평가 신속 공개

일본 수출규제 관련 소재 교정 서비스 패스트트랙 운영…국산화 지원

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일본 수출규제 대응책의 하나로 불화수소를 비롯한 반도체 관련 소재에 대한 품질평가 결과가 신속하게 공개된다.

한국표준과학연구원(표준과학연)은 조성재 부원장을 위원장으로 한 일본 수출규제 적극 대응 위원회를 꾸렸다고 8일 밝혔다.

위원회는 교정·시험서비스 패스트트랙 운영, 불화수소 등 반도체 공정 가스 품질평가 지원체계 마련, 반도체 및 첨단소재 신뢰성 평가 플랫폼 운영, 웨이퍼 불순물 측정분석 장비 국산화를 위한 원천기술 연구기획 등을 추진한다.

국내 기업이 수출규제와 연관 있는 소재·부품·장비 등에 대해 신뢰성 평가를 요청하는 경우 관련 절차를 최우선 순위로 두고 처리할 예정이다.

불화수소 같은 고순도 가스와 반도체 소재는 국산화율 증가를 위해 품질평가 결과를 신속하고 정확하게 제공할 방침이다.

표준과학연은 현재 세계 최고 수준 국가측정표준과 측정기술을 바탕으로 연간 1만여 건의 국내·외 교정·시험서비스를 하고 있다.

박상열 원장은 “현 상황을 고려했을 때 기존 연구와 서비스는 보류하더라도 일본 수출규제 문제 해결에 집중할 필요가 있다”며 “정부 출연연구원으로 해야 할 역할에 충실할 것”이라고 말했다.

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